Ag/AgCl microelectrodes with improved stability for microfluidics
B. J. Polk, A. Stelzenmuller, G. Mijares, et al.
摘要
提出了一种制造用于微流体应用的 Ag/AgCl 平面微电极的方法。微型参比电极可通过微型化学传感器进行精确的电位测量，但此类电极的使用寿命通常非常有限。我们的目标是可靠地构建 Ag/AgCl 微电极，提高电位稳定性，与表面贴装微流体通道兼容。几何表面积大于或等于 100 μm 的电极2通过在光刻图案化的薄膜金属电极上电镀大于 1 μm 的银，以阵列形式单独制造。电镀银表面经化学氧化成氯化银，形成 Ag/AgCl 微量参比电极。表征结果表明，与以前报道的许多器件相比，通过这种制造方法生产的 Ag/AgCl 微电极表现出更高的稳定性。电化学阻抗谱允许从等效电路模型中提取器件特定参数，这些参数用于描述微流体通道中微电极的性能。因此，通过光刻技术和电镀相结合制造的稳定 Ag/AgCl 微电极被证明可用于微流体系统内的电化学分析。